Simulation, analysis, and fabrication of miniaturized components with applications in optical interconnects and parallel microscopy [Elektronische Ressource] / put forward by Denis Wohlfeld

Description

Doin:bsubmittedfortoSciencestheDenisCom16.12.2009bineddegreeFofacultiesforwforDiplom-InformatiktheohlfeldNaturalOralSciencesyandtheforofMathematicsofNaturalthePutRuparderto-CarolayUniver:ersitWyBornofLeipzigHeidelbexamination:erg,DissertationGermanSimProf.arallelulation,Prof.Analysis,andandyFKarl-HeinzStefanofMiniaturizedPComponenReferees:tsDr.withBrennerApplicationsDr.inSinzingerInhighforOptikinundmanMiniaturisierunghomogeneoussindfabricationzwyeiscanningScandhlüsseltecthnologieninmitandvielfäl-fabricationtigenAntegratedwandendungsfeldern,dennsieermöglicvhenwProofduktefomithhöhererisFmeasuremenunktionalitätmethobeilikecthzeitigerinReduktionThederdevGröÿebsoortingwieareasderyKoosten.theIndieseralsoArbmetricaleitwTheerdenerzweithesis.Anwinwithhkandeitenreplicationfüred.MikroonenoptikdeepindenvBereiced.

Sujets

• Physik

Informations

• Publié par: ruprecht-karls-universitat_heidelberg
• Publié le: 01 janvier 2009
• Nombre de lectures: 18
• Langue: English
• Poids de l'ouvrage: 8 Mo

Extrait

Dissertation
Leipzig
submitted
y
to
the
the
Put
Com
W
bined
y
F
of
aculties
Natural
for
ard
the
er:
Natural
Born
Sciences
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and
for
for
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Mathematics
Do
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the
Sciences
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b
Univ
Diplom-Informatik
ersit
Denis
y
ohlfeld
of
in:
Heidelb
Oral
erg,
16.12.2009
German
Sim
Dr.
ulation,

Analysis,
Dr.
and
P
F
Referees:

Brenner
of
Sinzinger
Miniaturized
and
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h
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Miniaturization
wie
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das
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.
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.
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.
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.

.
and
.
o
.
v

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3
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I
32
F
.

3.1
of
.
miniaturized
.

.
onen
.
ts
.
7
.
2
.
F
osure

.
9
.
2.1
.
UV
fabrication
illumination
.
systems
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
3.2.1
.
.
.
of
.
.
.
.
.
.
.
46
.
Exp
.
.
.
.
.
.
.
30
.
.
.
.
.
.
.
of
.
.
.
.
.
.
.

.
.
.
.
.
.
11
.
2.1.1
.
Prop
.
erties
38
of
.
ligh
.
t
.

.
for
Soft
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.
lithograph
.
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.
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.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
11
.
2.1.2
ulations
Uniform
25
illumination
setup
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
Multidirectional
.
.
.
.
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.
.
.
.
.
.
.
.
Qualit
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
Ultra
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ds
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12
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2.1.3
2.4
T
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y
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Replication
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y
.
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.
angular
.
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2.1.4
.
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t
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as
.
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.
.
.
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.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
3.2.2
.

.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
3.3
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
17
.
2.2
I
UV
4
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V
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2.2.5
y
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.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
2.2.6
.
exp
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
2.2.7
19
y
2.2.1

SU-8
.
pro
.

.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
2.3
.
precision
.
hining
.
other
.
metho
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
37
.
Conclusion
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
19
.
2.2.2
.
Spin
.

.
.
.
.
.
.
.
.
.
.