Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique (Traité EGEM, série Electronique et micro-électronique)

Mouis Mireille

Description

Cet ouvrage analyse le problème de la complexité dans les systèmes industriels, économiques et sociaux, dans des branches aussi variées que la production manufacturière, la gestion financière, les administrations et les structures d'entreprise. À partir de cas concrets, il explique et étudie les notions de complexité et de simplexité des systèmes et révèle des mécanismes et propriétés applicables à tous les secteurs d'activité de notre environnement. La complexité dans les processus de décision et de management donne les moyens à une entreprise ou une organisation de mieux comprendre ses comportements et environnements complexes, de résoudre des problèmes de gestion associés, d'améliorer la qualité et les performances de son système d'organisation, grâce à des approches et des idées innovantes.

L'importance des contraintes en microélectronique. Théorie de l'élasticité des cristaux. Thermodynamique des systèmes contraints. Description élastique d'une surface. Rôle des contraintes mécaniques dans les technologies silicium. Croissance cristalline et génération de contraintes. Relaxation élastique des contraintes. Relaxation plastique des couches métalliques par dislocations et défauts étendus. Phénomènes d'endommagement des films minces : des structures de cloquage aux propriétés mécaniques locales. Exploitation des contraintes dans les structures à base de semi-conducteurs. Apports et limites d'une approche atomistique de la croissance hétéro-épitaxique. Utilisation des éléments finis pour l'analyse des contraintes. Analyse des contraintes et déformations de films minces par diffraction des rayons X et mesure de courbure. Influence des contraintes sur les propriétés électroniques et optiques des semi-conducteurs. Index

Sujets

• Sciences expérimentales
• Physique
• Techniques
• Ingénieurie et sciences appliquées
• Ingénieurie et sciences appliquées
• Sciences appliquées
• Ingénierie
• Sciences appliquées
• Sciences appliquées
• Ingénierie
• Sciences physiques
• Électronique
• Science
• Opto-électronique
• Mécanique
• Science de la nature
• Physical attractiveness
• Sciences et techniques
• Sciences fondamentales
• Sciences

Informations

• Publié par: Hermès - Editions Lavoisier
• Date de parution: 01 juin 2006
• Nombre de lectures: 287
• EAN13: 9782746237414
• Licence : Tous droits réservés
• Langue: Français

Extrait

La maîtrise des contraintes mécaniques internes constitue un enjeu majeur de la micro-nano-électronique et de l'optoélectronique, tant au niveau des composants actifs (transistors ou lasers par exemple) que des interconnexions. Les procédés de réalisation des composants et des circuits intégrés font appel à des matériaux de plus en plus variés qui génèrent localement des contraintes indésirables, voire destructives. Inversement, on peut développer une véritable ingénierie des contraintes pour améliorer les performances ou générer de nouvelles propriétés physiques. Cet ouvrage, qui s'adresse aussi bien à des étudiants de 3e cycle universitaire qu'à des ingénieurs et des chercheurs, fournit les bases permettant d'appréhender ce problème complexe. Après avoir présenté les outils théoriques qui sont utilisés pour décrire la génération et la relaxation des contraintes, il aborde successivement les aspects technologiques, quelques techniques de caractérisation, les principales méthodes de simulation et l'impact des contraintes sur les propriétés électriques et optiques des composants