Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Michel De Labachelerie, René Castagné, Joseph Borel, Aucouturier Jean-Louis, Doeuff René Le, Goure Jean-Pierre, Sabonnadière Jean-Claude

Description

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm

Introduction : le panorama des techniques de microfabrication -M. De Labachelerie. Les techniques de photolithographie -N. Fabre, V. Conédéra. Les dépôts en couches minces -W. Daniau, L. Robert. Dépôts en phase liquide : application aux microtechniques -S. Basrour. Dépôts de polymères -P. Jolinat. La gravure humide des couches minces -J.-P. Gilles, J.-P. Grandchamp. La gravure sèche des couches minces -J.-P. Grandchamp, J.-P. Gilles. Procédés d'usinage de surface sur silicium -L. Buchaillot, D. Collard, V. Agache, O. Millet. Méthodes et techniques de caractérisation mécanique des couches minces et des dispositifs microélectromécaniques -A. Bosseboeuf, M. Dupeux. Index.

Sujets

• Arts visuels
• Architecture
• Techniques
• Ingénieurie et sciences appliquées
• Ingénieurie et sciences appliquées
• Physique
• Électronique
• Science
• Physique de la matière condensée
• Science de la nature
• Physical attractiveness
• Sciences

Informations

• Publié par: Hermès - Editions Lavoisier
• Date de parution: 01 mai 2004
• Nombre de lectures: 83
• EAN13: 9782746227071
• Licence : Tous droits réservés
• Langue: Français
• Poids de l'ouvrage: 8 Mo

Extrait

Techniques de fabrication des microsystèmes 1

© LAVOISIER, 2004 LAVOISIER 11, rue Lavoisier 75008 Paris

Serveur web : www.hermes-science.com

ISBN 2-7462-0817-2

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Tous les noms de sociétés ou de produits cités dans cet ouvrage sont utilisés à des fins d’identification et sont des marques de leurs détenteurs respectifs.

Techniques de fabrication des microsystèmes 1

structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

sous la direction de Michel de Labachelerie

Il a été tiré de cet ouvrage

30 exemplaires hors commerce réservés

aux membres du comité scientifique,

aux auteurs et à l’éditeur

numérotés de 1 à 30

Techniques de fabrication des microsystèmes 1

sous la direction de Michel de Labachelerie

fait partie de la série M

ICROSYSTÈMES

dirigée par Jean-Pierre Goure et Jean-Claude Sabonnadière

T RAITÉ EGEM E LECTRONIQUE – G ÉNIE E LECTRIQUE – M ICROSYSTÈMES

Le traité Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes répond au besoin de disposer d’un ensemble de connaissances, méthodes et outils nécessaires à la maîtrise de la conception, de la fabrication et de l’utilisation des composants, circuits et systèmes utilisant l’électricité, l’optique et l’électronique comme support.

Conçu et organisé dans un souci de relier étroitement les fondements physiques et les méthodes théoriques au caractère industriel des disciplines traitées, ce traité constitue un état de l’art structuré autour des quatre grands domaines suivants :

Electronique et micro-électronique

Optoélectronique

Génie électrique

Microsystèmes

Chaque ouvrage développe aussi bien les aspects fondamentaux qu’expérimentaux du domaine qu’il étudie. Une classification des différents articles contenus dans chacun, une bibliographie et un index détaillé orientent le lecteur vers ses points d’intérêt immédiats : celui-ci dispose ainsi d’un guide pour ses réflexions ou pour ses choix.

Les savoirs, théories et méthodes rassemblés dans chaque ouvrage ont été choisis pour leur pertinence dans l’avancée des connaissances ou pour la qualité des résultats obtenus.

Liste des auteurs

Vincent AGACHE IEMN Lille

Skandar BASROUR Laboratoire TIMA Université Joseph Fourier Grenoble

Alain BOSSEBOEUF IEF Université Paris Sud Orsay

Lionel BUCHAILLOT IEMN Lille

Dominique COLLARD IEMN Lille

Véronique CONÉDÉRA LAAS Toulouse

William DANIAU LPMO Besançon

Michel de LABACHELERIE LPMO Besançon

Michel DUPEUX LTPCM Université Joseph Fourier Grenoble

Norbert FABRE LAAS Toulouse

Jean-Paul GILLES IEF Université Paris Sud Orsay

Jean-Paul GRANDCHAMP IEF Université Paris Sud Orsay

Pascale JOLINAT Laboratoire de Génie Electrique Université Paul Sabatier Toulouse

Olivier MILLET IEMN Lille

Laurent ROBERT LPMO Besançon