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THÈSE
Pour obtenir le grade de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITÉ DE GRENOBLE
Spécialité : 2MGE : Matériaux, Mécanique, Génie civil, Electrochimie
Arrêté ministériel : 7 août 2006



Présentée par
Christelle DUBOIS


Thèse dirigée par Alain SYLVESTRE

préparée au sein du Laboratoire G2Elab
dans l'École Doctorale I-MEP2 : Ingénierie - Matériaux, Mécanique,
Environnement, Energétique, Procédés, Production


Evaluation des performances
isolantes de couches poreuses
de SiOCH et de polymères
destinés aux technologies
d'intégration innovantes

Thèse soutenue publiquement le 13 Mai 2011,
devant le jury composé de :

M. BRAVAIX Alain, Pr. ISEN (Lab. IM2NP),(Examinateur)
M. CARRU Jean-Claude, Pr. Univ. du Littoral,(Rapporteur)
M. FARCY Alexis, Docteur Ingénieur, STMicroelectronics, (Examinateur)
M. GONON Patrice, MdC, UJF (Lab. LTM), (Examinateur)
M. SYLVESTRE Alain, MdC, UJF (Lab. G2Elab), (Examinateur)
M. TEYSSEDRE Gilbert, Dir. Recherches CNRS (Lab. Laplace), (Rapporteur)
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