Niveau: Supérieur, Doctorat, Bac+8
N° d'ordre : 4187 École Doctorale Sciences Pour l'Ingénieur ULP – ENSAIS – ENGEES - URS THÈSE présentée pour obtenir le grade de Docteur de l'Université Louis Pasteur – Strasbourg I Discipline : Sciences pour l'Ingénieur (spécialité : Instrumentation et Microélectronique) par Abderrazzaq BENATMANE Développement de la microscopie interférométrique pour une meilleure analyse morphologique des couches minces et épaisses des matériaux semiconducteurs et optiques Soutenue publiquement le 11 décembre 2002 Membres du jury Directeur de thèse : M. Paul Montgomery, CR-HDR, CNRS-PHASE Strasbourg Rapporteur interne : M. Dalibor Vukicevic, Professeur, ULP Strasbourg Rapporteur externe : M. Bernard Drevillon, Professeur, Ecole Polytechnique Palaisseau Rapporteur externe : M. Jean-Pierre Landesman, Professeur, Ecole Polytechnique Nantes Examinateur : M. Eric Fogarassy, DR, CNRS-PHASE Strasbourg Laboratoire PHASE UPR 292
- fabrication des pièces mécaniques du microscope leica
- collaboration concernant l'analyse des couches minces de silicium polycristallin
- harrer pour la préparation des échantillons de silicium amorphe
- remerciements au groupe de thésards du laboratoire