Organic field-effect transistors with high-_k63 [high-kappa] dielectric [Elektronische Ressource] / von Florian Roth
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Publié le 01 janvier 2011
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Langue Deutsch
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inField-EecthTRothransistorsolfgangwithMainhigh-rankfurtOrganicysikJohannDielectricethe-UnivDissertationrankfurtzuronErlangungWiesbadendes(DDoktorgradesPhf?rderNaturwissenscWhaftenGoversit?torgelegtFbameivmFlorianFausacFh2011b30)ereicProf.v25.03.2011omTFHuthacHuthhortbMicereichhMicPhDr.ysikrdederrDr.JohannhaelWGutacolfgangter:GoDr.ethe-Univhaelersit?tProf.alsAndreasDisser-etationfangenommen.DatumDekDisputation:an:Prof.


2 nm


bsichenhvmitHigh-demhenEinsatzeln,vIsolatorscontDielektriksica-mitChemiehoherMaterialienPhiner-einemmeabilit?t,Scsogenanndungsdictenzusammengehalhigh-Molek?leh?ftigtauc-Dielektrikona,hinlienorganiscortshenoD?nnscMithichhf?hrttfeldef-onfekttransistoren.eitDabsomiteihwenfallerdenvzwDahereihafteninEigenscteressanersteVielfaltunddieaktivnetFbietetorschkhenungsfeldercvHigh-ereinPt,gewinnenzumBeinenMiniaturisierungorganischaltkreiseheDicHalbleiter,hundonzwusomitmbietenanderenmithigh-zuesczu-Dielektrikona.eOrganischen,hehHalbleiter,durcalsoaals-Halbleiter,edieeausdieKeinzel-ohlaufenstodesvestkerbindungenDiesbdieeste-Eigenschen,hgewinnentezunehmendtanzuBedeutung,rtinsbn.esondereSynimhHindieblicneuekhneidertaufwicidiehdesreerstandentec-DielektikhnisceinehealsVaufwerwderendung.zunehmendSiedeutuhabfortscenhogegenerten?bterReduzierungklassisceheniHalbleiterneinher.vterhalberscDiesehie-endenhsenVunnelstr?meorteile.VSie-DielektrikbieM?glictenn?tigedaskPhotenhentialcdiezieren.Herstellungsklfeosteneraufgrundodes?cEinsatzestenvsieonhoheDruchspannk-IundhSpran-der-WiBindungentztecthnikn.enwirkznuhreduzieren,EigenscunddererlaubnenenstarkdendieEinsatzhaftenvorganisconFexi?rpbaus.lerkl?rtenhTgro?er?germaterialien.anIhrhaftenNacelektronischistteilBandbrei-liegtvvIsolaororeallembisiSupraleiternnenied-rerigereneLadungstr?gerbDurcewgezielteeglicthesehksiceitenderisomitmM?glicVeitergleicMateriahma?gesczzuutklassisckhensofernHalbleitern.MeDerhanismenFLadungstransporscvhsind.ungssceitha,wdieerpunkth?hereliegtermeabilit?tdaherSiliziumdi-oftxidineisen,derinSucklassischeHalbleiterindustrienanaecng.hderMaterialien,hreitendendiederhohecBewtegrieglicSchkgeheitenaucaufweineeisenderokderderehinfaccheretundDiesg?nstigereunProvduktions-Arbvzuerfahrenstarkerm?glicAnhen.acOvbTwundohlzuorganiscerlusten.heZusammenfassungHalbleiterabdieereitshkheutediekKapazit?tommerzi-dicellereneingesetzthicwtenerden,erreicbundeispielswLeeisekstr?meinredu-DisplaMibhi-Dielektrikvlassenhigh-hys,absicestehabtaucnohchhFlgro?erhenla-BedarfhanerreicGrundlagenforscdahebung.sOrganiscDurchbruceungenMaterialienesitzen.werden

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SrTiO3
400 mm
60 C
580 C
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20m
200 C Al O2 3
305 K 350 K
330 K

Al O2 3
SrTiO3

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