Etude du dopage par implantation ionique d
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Etude du dopage par implantation ionique d'aluminium dans le carbure de silicium pour la réalisation

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N° d’ordre : 02 ISAL 0016 Année 20027+(6(Présentée devantL’INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE LYONPour obtenir/( *5$’(’(’2&7(85FORMATION DOCTORALE : Génie électriqueECOLE DOCTORALE : Electronique, Electrotechnique, AutomatiquePar0LKDL%RJGDQ /$=$5Ingénieur INSA(WXGH GX GRSDJH SDU LPSODQWDWLRQ LRQLTXHG¶$OXPLQLXP GDQV OH FDUEXUH GH VLOLFLXPSRXU OD UpDOLVDWLRQ GH FRPSRVDQWV GHSXLVVDQFHSoutenue le 15 mars 2002 devant la Commission d’ExamenJury.-HDQ/RXLV 6DQFKH] 5DSSRUWHXU- H DQ & DP DVVH O 5DSSRUWHXU-HDQ 3LHUUH &+$17( 3UpVLGHQW GX -XU\0DULH/DXUH /RFDWHOOL-RVp 0LOODQ- D FTXHV * DXW LHU5REHUWD 1LSRWL&KULVWRSKH 5D\QDXGCette thèse a été préparée au Laboratoire CEGELY de l'INSA de Lyon.SEPTEMBRE 2000ECOLES DOCTORALES ET DIPLOMES D'ETUDES APPROFONDIESHABILITES POUR LA PERIODE 1999-2003ECOLES DOCTORALES RESPONSABLE CORRESPONDANT DEA INSA RESPONSABLEN° code national PRINCIPAL INSA N° code national DEA INSACHIMIE DE LYON M. D. SINOU M. P. MOSZKOWICZ Chimie Inorganique M. J.F. QUINSON(Chimie, Procédés, UCBL1 83.45 910643 Tèl 83.51 Fax 85.28Environnement) 04.72.44.62.63 Sec. 84.30 Sciences et Stratégies AnalytiquesSec. 04.72.44.62.64 Fax. 87.17 910634EDA206 Fax. 04.72.44.81.60 Sciences et Techniques du Déchet M. P. MOSZKOWICZ910675 Tèl 83.45 Fax 87.17ECONOMIE ESPACE ET M. A. BONNAFOUS Mme M. ZIMMERMANN Ville et Sociétés Mme M. ZIMMERMANNMODELISATION DES LYON 2 84.71 911218 Tèl 84.71 Fax 87.96COMPORTEMENTS 04.72.72.64.38 Fax 87 ...

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N° d’ordre : 02 ISAL 0016 Année 2002
7+(6(
Présentée devant
L’INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE LYON
Pour obtenir
/( *5$’(’(’2&7(85
FORMATION DOCTORALE : Génie électrique
ECOLE DOCTORALE : Electronique, Electrotechnique, Automatique
Par
0LKDL%RJGDQ /$=$5
Ingénieur INSA
(WXGH GX GRSDJH SDU LPSODQWDWLRQ LRQLTXH
G¶$OXPLQLXP GDQV OH FDUEXUH GH VLOLFLXP
SRXU OD UpDOLVDWLRQ GH FRPSRVDQWV GH
SXLVVDQFH
Soutenue le 15 mars 2002 devant la Commission d’Examen
Jury.
-HDQ/RXLV 6DQFKH] 5DSSRUWHXU
- H DQ & DP DVVH O 5DSSRUWHXU
-HDQ 3LHUUH &+$17( 3UpVLGHQW GX -XU\
0DULH/DXUH /RFDWHOOL
-RVp 0LOODQ
- D FTXHV * DXW LHU
5REHUWD 1LSRWL
&KULVWRSKH 5D\QDXG
Cette thèse a été préparée au Laboratoire CEGELY de l'INSA de Lyon.SEPTEMBRE 2000
ECOLES DOCTORALES ET DIPLOMES D'ETUDES APPROFONDIES
HABILITES POUR LA PERIODE 1999-2003
ECOLES DOCTORALES RESPONSABLE CORRESPONDANT DEA INSA RESPONSABLE
N° code national PRINCIPAL INSA N° code national DEA INSA
CHIMIE DE LYON M. D. SINOU M. P. MOSZKOWICZ Chimie Inorganique M. J.F. QUINSON
(Chimie, Procédés, UCBL1 83.45 910643 Tèl 83.51 Fax 85.28
Environnement) 04.72.44.62.63 Sec. 84.30 Sciences et Stratégies Analytiques
Sec. 04.72.44.62.64 Fax. 87.17 910634
EDA206 Fax. 04.72.44.81.60 Sciences et Techniques du Déchet M. P. MOSZKOWICZ
910675 Tèl 83.45 Fax 87.17
ECONOMIE ESPACE ET M. A. BONNAFOUS Mme M. ZIMMERMANN Ville et Sociétés Mme M. ZIMMERMANN
MODELISATION DES LYON 2 84.71 911218 Tèl 84.71 Fax 87.96
COMPORTEMENTS 04.72.72.64.38 Fax 87.96
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