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Layout géométrique
n Règles de dessin fixes n Règles de dessin industrielles n Exemple d’application
andre.stauffer@epfl.ch
Règles de dessin fixes Mead et Conway Paramètre λ : déviation maximum du masque par rapport au dessin pour un processus dintégration donné Pour une technologie x [ µ ]: λ = x/2 [ µ ]
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