Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials [Elektronische Ressource] / Manel Haj-Taieb ; Jarir Aktaa ; Klaus Bade

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142 pages

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Publié par	karlsruher_institut_fur_technologie
Publié le	01 janvier 2009
Nombre de lectures	32
Poids de l'ouvrage	9 Mo

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