SOMMAIRE Liste des symboles………………………………………………………………5 Introduction générale………………………………………………………..…9 Chapitre 1: Propriétés des revêtements amorphes I – LES REVETEMENTS AMORPHES BASE SILICIUM I-1 Synthèse……………………………………………………………………..……15 I-2 Propriétés……………………………………………………………………...…16 I-2.1 Transport de charge dans les solides amorphes…………………….…16 I-2.2 Propriétés mécaniques et tribologiques des revêtements amorphes…..19 I-2.3 Résistance à la corrosion…………………………………………….…20 II – DIAMOND LIKE CARBON (DLC) II-1 Elaboration des couches minces de DLC………………………………….......22 II-2 Structure chimique…………………………………………………….…….…23 II-3 Propriétés....……………………………………………………………….……23 II-3.1 Propriétés mécaniques………………………………………...………24 II-3.2 Propriétés tribologiques……………………………………….………24 II-3.3 Propriétés électriques………………………………………….………24 II-3.4 Résistance à la corrosion……………………………………...………25 III – CONCLUSIONS DU CHAPITRE 1 Chapitre 2 : Dispositifs expérimentaux I – LE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR ASSISTE PLASMA I-1 Le dépôt chimique en phase vapeur (CVD)……………………………………39 I-2 Le dépôt chimique en phase vapeur assisté plasma (PACVD)….…………….39 I-2.1 Principe…………………………………………………………………40 I-2.2 Utilisation d’un champ magnétique……………………………………41 I-2.3 Polarisation du substrat………………………………………………...42 I-3 Configuration des réacteurs………………………………………….…………43 I-3.1 Réacteur d’UNIBA…………………………………………..…………43 I-3.2 Réacteur d’HEF………………………………………………. ...
SOMMAIRE Liste des symboles………………………………………………………………5 Introduction générale………………………………………………………..…9 Chapitre 1: Propriétés des revêtements amorphes I – LES REVETEMENTS AMORPHES BASE SILICIUM I1 Synthèse……………………………………………………………………..……15 I2 Propriétés……………………………………………………………………...…16 I2.1 Transport de charge dans les solides amorphes…………………….…16 I2.2 Propriétés mécaniques et tribologiques des revêtements amorphes…..19 I2.3 Résistance à la corrosion…………………………………………….…20 II – DIAMOND LIKE CARBON (DLC) II1 Elaboration des couches minces de DLC………………………………….......22 II2 Structure chimique…………………………………………………….…….…23 II3 Propriétés....……………………………………………………………….……23II3.1 Propriétés mécaniques………………………………………...………24 II3.2 Propriétés tribologiques……………………………………….………24 II3.3 Propriétés électriques………………………………………….………24 II3.4 Résistance à la corrosion……………………………………...………25 III – CONCLUSIONS DU CHAPITRE 1 Chapitre 2 : Dispositifs expérimentaux I – LE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR ASSISTE PLASMAI1 Le dépôt chimique en phase vapeur (CVD)……………………………………39 I2 Le dépôt chimique en phase vapeur assisté plasma (PACVD)….…………….39I2.1 Principe…………………………………………………………………40I2.2 Utilisation d’un champ magnétique……………………………………41 I2.3 Polarisation du substrat………………………………………………...42 I3 Configuration des réacteurs………………………………………….…………43 I3.1 Réacteur d’UNIBA…………………………………………..…………43 I3.2 Réacteur d’HEF………………………………………………...………44
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II – TECHNIQUES ELECTROCHIMIQUES II1 Techniques stationnaires……………………………………………….………46 II2 La Spectroscopie d’Impédance Electrochimique……………………..………46 II2.1 Principe…………………………………………………………...……46 II2.2 Décomposition de l’impédance en éléments électriques simples, et recherche d’un circuit électrique équivalent………………………………...48II2.3 Correspondance entre éléments simples d’un circuit équivalent et phénomènes électrochimiques…………………………………………….…49 II3 Approche tribocorrosion…………………………………………………….…51 III – METHODES D’ANALYSE III1 Mesures microgravimétriques…………………………………………..……53 III2 La microscopie à force atomique………………………………………..……54 III3 La spectroscopie de photoélectrons X et d’électrons Auger……………...…57 III4 La microscopie électronique en transmission……………………………..…59 III5 La spectroscopie infrarouge par transformée de Fourier………………..…60 Chapitre 3 : Les revêtements aSiOxpour applications anticorrosion I – ELABORATION DES REVETEMENTS aSiOx II – COMPORTEMENT SUR ACIER M2II1 Caractérisations chimique et structurale……………...………………67 II2 Rôle d’un revêtement en anticorrosion……………….………………70 II2.1 Réactivité du revêtement visàvis du milieu….………………70 II2.2 Porosité du revêtement…………………………...……………71 II2.3 Résistivité électrique intrinsèque des revêtements aSiOx….…73 II3 Modélisation interfaciale et tenue à la corrosion en fonction du temps d’immersion…………………………………………………………….……76 II4 Conclusion……………………………………………………….………84 III – COMPORTEMENT SUR ACIER INOXYDABLEIII1 Amélioration des propriétés passives de l’acier inoxydable…...……86 III2 Interprétation du pouvoir protecteur…………………………….…..90 III3 Conclusion…………………………………………………………...…92 IV – COMPORTEMENT DE L’ALUMINIUM REVETU IV1 Considérations générales………………………………………………93 IV2 Comportement électrochimique de l’alliage 5005 en milieu salin…..96 IV3 Etude en milieu acide……………………………………………..……98 IV3.1 Comportement du substrat nu……………………………...…98 IV3.2 Comportement du substrat revêtu………………………...…101 IV3.3 Evolution de la couche passive…………………………...…103 IV3.4 Comparaison avec l’acier inoxydable – Interprétations……105
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V – LES REVETEMENTS AMORPHES aSiOxNy: INFLUENCE DE L’AZOTE V1 Elaboration des films d’oxynitrure de silicium…………………...…109 V2 Etude morphologique des revêtements………………………………110V3 Composition et structure chimique des revêtements aSiOxNy…..…112 V4 Résistivité électrique intrinsèque des revêtements aSiOxNy…..……114 V5 Caractère protecteur des revêtements aSiOxNy………………….…115 V5.1 Comportement électrochimique…………………………...…115 V5.2 Modélisation des réactions interfaciales…………………..…117 V5.3 Dégradation des revêtements aSiOxNy………………………119 V6 Conclusion…………………………………………………………...…124 VI – CONCLUSIONS DU CHAPITRE 3Chapitre 4 : Les revêtements aSiCxmultifonctionnels I – ANALYSE DU POUVOIR PROTECTEUR VISAVIS DE LA CORROSION I1 Elaboration des revêtements………………………………..…………………139 I2 Caractérisation du revêtement………………………………...………………140 I3 Tenue à la corrosion……………………………………………………………143 II – LES REVETEMENTS SiCHN(SiCXNY:H) : INFLUENCE DE L’AZOTE II1 Résistance à la corrosion…………………………………………...…………146 II2 Composition et structure chimiques des revêtements SiCHN…………...…148II3 Influence du taux d’azote incorporé sur les propriétés de l’acier revêtu….151 II4 Analyse du pouvoir protecteur………………………………………….……153 III – LES REVETEMENTS DUPLEX SiCH(N) / DLC III1 Influence d’un dépôt DLC élaboré en mode DCPACVD…………………161 III2 Influence d’un dépôt DLC élaboré en mode MOPACVD……………...…166 IV – APPROCHE TRIBOCORROSION IV1 Définition de la synergie usure – corrosion………………………………....171 IV2 Revêtements SiCx/DLC……………………………………………………...173 IV3 Revêtements SiCxNy/DLC…………………………………………….…..…179 V – CONCLUSIONS DU CHAPITRE 4 Conclusions générales – Perspectives…………………...…………….……195