Atomic Layer Deposition for Semiconductors

Atomic Layer Deposition for Semiconductors

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263 pages

Description

Offering thorough coverage of atomic layer deposition (ALD), this book moves from basic chemistry of ALD and modeling of processes to examine ALD in memory, logic devices and machines. Reviews history, operating principles and ALD processes for each device.

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Date de parution 18 octobre 2013
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EAN13 9781461480549
Langue English

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Atomic Layer Deposition for Semiconductors