Vers la réalisation de composants haute tension, forte puissance sur diamant CVD. Développement des technologies associées.

Christian Brylinski

Description

Niveau: Supérieur, Doctorat, Bac+8

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THÈSE En vue de l'obtention du DOCTORAT DE L'UNIVERSITÉ DE TOULOUSE Délivré par l'Institut National Polytechnique de Toulouse Discipline ou spécialité : Micro-électronique JURY Christian BRYLINSKI Rapporteur Professeur, Université Lyon I Dominique PLANSON Rapporteur Professeur,INSA Lyon Jocelyn ACHARD Examinateur Professeur, Université Paris XIII Philippe BERGONZO Examinateur Docteur HDR, CEA-LIST, Saclay Karine ISOIRD Examinateur Maître de conférences, Université Toulouse III Frédéric MORANCHO Examinateur Professeur, Université Toulouse III Julien PERNOT Examinateur Maître de conférences, Université Grenoble I Henri SCHNEIDER Directeur de thèse Maître de conférences HDR, INP Toulouse Ecole doctorale : GEET Unité de recherche : LAAS-CNRS Directeur de Thèse : Henri SCHNEIDER Présentée par Gabriel CIVRAC Soutenance prévue le 5 novembre 2009 Titre : Vers la réalisation de composants haute tension, forte puissance sur diamant CVD. Développement des technologies associées.

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Sujets

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Informations

• Publié par: profil-feym-2012
• Publié le: 01 novembre 2009
• Nombre de lectures: 76
• Langue: Français
• Poids de l'ouvrage: 2 Mo

Extrait

   

       

THÈSE 

En vue de l'obtention du DOCTORAT DE L’U DE TOULOUSENI VERSI TÉ Délivré par   l’Institut National Polytechnique de Toulouse   Discipline ou spécialité :    euqinctro-éleicroM  

    Présentée par   Gabriel CIVRAC   Soutenance prévue le5 novembre 2009     Titre :   Vers la réalisation de composants haute tension, forte puissance sur diamant CVD. Développement des technologies associées.  

  JURY Christian BRYLINSKI Rapporteur Pr ofesseur, Université Lyon I Dominique PLANSON Rapporteur Professeur,INSA Lyon Jocelyn ACHARD Examinateur Prof esseur, Université Paris XIII Philippe BERGONZO Examinateur Docteur HDR, CEA-LIST, Saclay Karine ISOIRD Examinateur Maître de conférences, Université Toulouse III Frédéric MORANCHO Examinateur Professeur, Université Toulouse III Julien PERNOT Examinateur Maître de conférences, Université Grenoble I Henri SCHNEIDER Directeur de thèse Maît re de conférences HDR, INP Toulouse       Ecole doctorale :   GEET   Unité de recherche :   LAAS-CNRS   Directeur de Thèse :   Henri SCHNEIDER    

 

 

 

REMERCIEMENTS     Je remercie Malik Ghallab et Raja Chatila, directeurs successifs du LAAS-CNRS, Yvon Chéron et Maurice Fadel, directeurs successifs du LEEI, ainsi que Christian Laurent, directeur du LAPLACE, de mavoir accueilli au sein de leurs laboratoires respectifs durant ces années de thèse. Je remercie également Jean-Louis Sanchez et Marise Bafleur, responsables successifs du groupe ISGE (LAAS-CNRS), ainsi que Philippe Ladoux, responsable du groupe CS (LAPLACE). Je souhaite adresser mes profonds remerciements à Henri Schneider, qui a dirigé cette thèse. Merci de mavoir fait confiance, de mavoir encadré comme tu las fait, davoir su donner de ton temps lorsque cétait nécessaire et merci pour tout le reste Mes remerciements vont aussi à Karine Isoird pour les échanges scientifiques intéressants que nous avons pu avoir durant ces quelques années et pour laide apportée dans la rédaction de ce document. Je voudrais remercier Frédéric Morancho davoir accepté de présider le jury de ma soutenance de thèse. Merci à Christian Brylinski et Dominique Planson de mavoir fait lhonneur dêtre les rapporteurs de ces travaux de recherche. Je remercie également Jocelyn Achard, Philippe Bergonzo et Julien Pernot davoir accepté dexaminer ces travaux. Je souhaite remercier Sodjan Koné et Hui Ding avec lesquels jai pu travailler durant plusieurs années et sans lesquels cette étude ne serait pas aussi complète. Je remercie aussi Zhongda Zhang, Mustafa Zerarka, Fabien Thion et Hélène Bordeneuve pour le coup de main quils mont donné en fin de thèse. Je vous souhaite bon courage à tous pour la suite. Ces travaux nauraient pas pu être réalisés sans laide des membres de léquipe TEAM. Je les remercie tous pour le travail quils réalisent, en particulier Laurent, Fabien, Véronique, Sébastien, Ludovic, Djaffar, Pascal, Bernard, Laurent, Monique, David, Pierre-François, David, Jean-Baptiste, Monique, Eric, Guy, Jean-Christophe, Laurent, Franck, Hugues, Christina et ceux que jaurais oubliés. Pour les mêmes raisons, je souhaite remercier les membres de léquipe 2I, notamment Christian Ganibal, Nicolas Mauran et Sandrine Assié-Souleille. Un grand merci à Emmanuel Scheid qui a réalisé les dépôts PECVD de silicium, à Thierry Camps pour les discussions que nous avons pu avoir sur la fabrication de contacts métal/semi- conducteur, ainsi quà Claude Amand qui a réalisé les caractérisations SIMS. Merci aux personnes du LIMHP, de linstitut Néel, du GEMAC, du CEA-LETI, du LGP avec lesquels jai eu loccasion de travailler durant cette thèse. Ces années éreintantes de travail ont été rendues tout à fait supportables grâce à la présence de nombreux collègues du LAAS. Je remercie particulièrement les habitants légitimes et  

squatteurs du bureau 9B, à savoir (par ordre alphabétique) Cyril, Fabienne, Fabrice, Guillaume, Pamela, Pier Francesco, Pierre, Thibault pour les cafés philosophiques, quiz endiablés et apéros mémorables. Je souhaite aussi remercier mes colocataires de bureau (par ordre dapparition) Florence, Julie, Stéphane, Elias, Jean-François et Aloña pour la bonne humeur quils ont su cultiver au sein du bureau G6. Je souhaite de plus remercier Mathieu, Habib, lensemble des doctorants du groupe ISGE et tous les autres. En espérant vous revoir tous bientôt.

Enfin je souhaite remercier Aurore, Cyril, Muriel et François pour le soutien logistique de début de thèse.

Ces remerciements étant rédigés dans lurgence (pour changer), il est possible (voire probable) que jaie oublié de remercier un certain nombre de personnes (honte à moi). Je vous prie, par avance, de mexcuser.

 

                 

 



  A mes parents

A ma famille

A Aude