Niveau: Supérieur, Doctorat, Bac+8
N° d'ordre : 524 École Doctorale Mathématiques, Sciences de l'Information et de l'Ingénieur UdS – INSA – ENGEES THÈSE présentée pour obtenir le grade de Docteur de l'Université de Strasbourg Discipline : Électronique, Électrotechnique et Automatique Spécialité : Microélectronique par Alexis Colin Étude des couplages radiatifs et thermiques et des modifications physico-chimiques engendrés par un recuit laser milliseconde sur la grille polysilicium de la technologie CMOS 45 nm Soutenue publiquement le 16 Avril 2010 Membres du jury Directeur de thèse : M. Daniel Mathiot, Professeur, InESS, Strasbourg Co-Directeur de thèse : M. Eric Fogarassy, Directeur de recherche, InESS, Strasbourg Rapporteur externe : M. Olivier Bonnaud, Professeur, IETR, Université de Rennes Rapporteur externe : M. Remy Fabbro, Directeur de recherche, LALP, Paris Examinateur : M. Daniel Barbier, Professeur, INL/INSA, Lyon Examinateur : M. Pierre Morin, Ingénieur, STMicroelectronics, Crolles InESS UMR 7163 Thèse CIFRE en collaboration avec STMicroelectronics (Crolles)
- substrat de silicium
- polysilicium
- analyse des profils chimiques
- recuit laser
- introduction du recuit milliseconde dans les technologies cmos avancées
- spectroscopie de perte d'énergie d'électrons
- table des matières table des matières
- cmos