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67
Lo
2.7.2
du
La
oin
caractéristique
c
I
.
.
.
.
.
(V
.
.
.
.
.
)
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
3.4.4
.
n
.
n
.
e
.
la
.
de
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
87
.
Largeur
.
mpu
69
sion
2.8
sur
Conclusion
drain
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
3.4.4.2
.
d'i
.
l
.
appliquée
.
la
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
88
.
Inuence
.
durées
.
sur
.
caractéristiques
.
des
.
osan
.
InAlN/Ga
.
AEC1561
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
3.4.5
.
sur
.
s
.
Gate-lag
.
de
69
.
3
.
Caractérisations
.
électriques
.
et
.
phénomènes
.
parasites
.
75
.
3.1
.
In
.
tro
.
duction
3.5
.
des
.
instabil
.

.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
3.6
.
ulation
.
la
.
virtuelle
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
98
.
Conclusion
.
.
75
.
3.2
.
Comp
.
osan
.
ts
.
caractérisés
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
100
.
Etude
.
couran
.
de
.
103
.
In
.
duction
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
75
.
3.3
.
Mesures
.
électriques
.
statiques
.
.
.
.
.
.
4.2
.
comp
.
t
.
et
.
c
.
I
.
(V
.
)
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
4.3
.
délisation
.
de
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
76
.
3.3.1
.
Le
.
banc
.
de
.
mesure
.
statique
105
.
En
.
olarisation
.
.
.
.
.
.
.
.
.
DS GS
m
DS DS
DS DS GS
DS GS
GS GS DS
GS GS
GSConclusion
.
.
ABLE
l'énergie
DES
.
MA
sortie
TI
uenc
ÈR
.
ES
.
7
Sc
4.3.2
.
En
.
p
TSB
olarisation
.
in
.
v
.
erse
.
.
.
.
Inuence
.
.
.
.
.
paramètres
.
de
.
.
.
la
.
.
.
la
.
.
.
AlG
.
Conclusions
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
de
.
olari-
.
.
.
.
.
.
.
4.4.2.2
.
de
.
I
108
couc
4.3.2.1
.
Premier
.
mécanisme
n
:
dans
TFE-DTTSB
.
.
127
.
des
.
.
.
.
.
n
.
e
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
143
.
.
.
.
108
.
4.3.2.2
.
Deuxième
.
mécanisme
.
:
.
eet
.
P
122
o
la
ole-F
dio
renk
en
el
directe
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
de
.
les
.
et
.
124
.
uenc
109
de
4.3.2.3
TSB
T
.
roisième
.
mécanisme
.
:
.
F
4.4.4
o
e
wler-Nordheim
de
.
couc
.
.
.
.
.
.
.
I
.
de
.
d
.
he
.
.
.
.
.
.
.
4.4.6
.
e
114
pièges
4.3.2.4
couc
Quatrième
.
m
.
écanisme
.
:
133
tunnel
.
bande
.
à
.
bande
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
A
.
matériaux
.
.
.
.
116
.
4.3.3
.
Concl
.
us
.
i
.
on
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
4.4.2.1
.
sur
.
caractéristique
.
la
.
de
.
hottky
.
p
.
sation
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
122
.
Inuence
.
I
.
sur
119
caractéristiques
4.4
transfert
Sim
de
ulation
.
TCAD
4.4.3
du
n
couran
e
t
l'épaisseur
de
la
grille
he
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
126
.
I
.
uenc
.
de
.
densité
.
pièges
.
la
.
he
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
119
4.4.5
4.4.1
n
De
e
scription
l'énergie
de
pièges
la
e
sim
couc
ulati
TSB
on
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
130
.
I
.
uenc
.
de
.
des
.
d
.
la
.
he
.
aN
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
4.5
.
.
.
.
.
.
.
.
119
.
4.4.2
.
I
.
n
.
uenc
.
e
.
des
.
mécani
.
smes
.
de
.
transp
.
ort
.
relatif
.
à
.
I
.
T
135
sur
139
les
Les
caractéristiques
électriques
.
GS
GÈR
T
8
T
I
ABLE
ES
DES
MAt
des
.............
des
pièges
sym
m
b
rmoionique
oles
de
Liste
I
el
L
renk
a.............
..............
passage
.......Densité
électrons
des
e
états
............Masse
de
des
surface
saturation
ole-F
grille-drain
............
.............
................Electronégativité
..............
o
maille
P
couc
.............
de
............T
............Champ
ra
de
v
bande
ail
d'activ
de
-F
sortie
........Energie
du
he
métal
électrique
l'eet
..............
our
m
............
..............
..............T
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ra
de
v
..............
ail
N
de
ermittivité
sortie
aramètre
du
eet
semi-conducteur
de
p
AlGaN
............
...........Energie
................Conductivité
th
t
lors
he
critique
r
............Niv
m
ermi
ique
.............Largeur
actifs
terdite
pièges
.............
............
des
..............Mobilité
o
électronique
el
de
m
........Densité
ation
..............
la
............Mobilité
F
de
..............
s
la
trous
...........Masse
..............
t
N
drain
directe
............
..............
L
.........Mobilité
de
élec
e
t
l'espace
roni
.............
qu
m
e
9
faible
.............Déformation
c
écanique
hamp
tunnel
du
.............P
mo
diélectrique
dèle
...............P
de
de
Canali
d
olarisation
par
p
......Epaisseur
.............
la
.............Champ
he
élec
E
t
.............
ri
seuil
qu
l'eet
e
du
en
E
d'idéalité
.............
r
électrique
............
E
..............Densité
.............
de
eau
couran
F
t
E
d'électrons
............
u
de
acte
in
............F
E
.............
eectiv
.............Densité
..........Energie
de
ation
couran
pièges
t
P
de
ole
trous
renk
.............
E
n
.............
............
.............
.............Hauteur
d'activ
de
des
barrière
de
Sc
couc
hottky
TSB
canal
trous
..............
e
.............P
.......Champ
oten
sous
tiel
grille
électrostatique
eectiv
le
..............
dans
......Couran
lectrons
de
............
de
............T
I
aux
électrons
de
............Couran
drain-lag
drain-source
é
des
des
........Longueur
............
l'espace
............T
L
aux
.............
de
de
gate-lag
grille-source
.....Densité
v
.............
............Largeur
...............Con
grille
train
eecti
te
............Masse
mécanique
..............
e
Nsurf

m
s

e
p
low
!
F
!
Jn!
Jp
B

DL
GL
"

"e
AlGaN
00
cr
F
G
PF
TSB
ZCE
DSAT
DS
GD
GS
G
e
h
t
2DEG
F
PFde
régime
série
T
de
ABLE
..............
DES
trous
MA
en
T
la
I
de
ÈR
de
ES
électrons
n
appliquée
10
appliquée
.............
.........P
............F
pulsé
acte
rep
u
participan
r
ue
d'idéalité
R
en
R
p
...........T
olarisation
............T
in
.............Largeur
v
lors
erse
.............
N
e
.........fraction
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x(Al).............
au
seuil
de
..............
.............
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o
de
mesures
pièges
h
dans
au
la
vi
couc
R
he
.........P
TSB
..............
P
un
de
..............
............
grille
............P
érature
olarisation
la
sp
érature
on
de
tanée
l'impulsi
P
le
ension
mesures
.............
t
...........P
de
olarisation
la
piézo
de
é
pulsé
lectrique
V
Q
du
.........T
oin
.............
os
V
en
électrons
pulsé
.............
olarisation
......Densité
au
de
t
c
lors
harge
n
dans
c
le
arge
canal
t
Q
phénomène
des
grille
.............
rt
.......Densité
lle
de
olarisation
c
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harge
s
nette
..............
à
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l'hé
sh
t
t
é
V
roin
...........Résistance
terface
T
AlGaN/GaN
..............
Q
emp
saturation
des
de
T
..........Vitesse
.............
.............
emp
......Densité
des
de
t
c
.............
harge
de
induite
on
par
sur
les
drain
p
de
olarisations
en
sp
pulsé
on
olarisation
tannée
.............Largeur
et
l'impulsion
piézo
sur
élec-
grill
trique
lors
de
mesures
la
régime
couc
V
he
..............
AlGaN
.............
Q
olarisation
..............
drain
v
p
..............
t
........Densité
rep
de
lors
c
mesures
harge
régime
induite
V
par
régime
le
.........P
s
de
états
grille
de
p
surfac
in
e
de
Q
os
drain
de
du
e
..............
d'aluminium
.........Densité
d'accè
R
TSB
sp
pz
2DEG
inter
pz+sp
surf
VG
C
sh
S
n
p
D
G
DS0
GS0
GS
DS
sat
TH