Chapitre 5 – Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation Chapitre 5 - Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation 5.1 - Evaluation de la dissipation liée à la présence de contraintes résiduelles....... 100 5.1.1 - Description du modèle ................................................................................... 100 5.1.2 - Discussion ...................................................................................................... 103 5.2 - Application à l’étude de l’influence de la sustentation ..................................... 103 5.3 - Transport irréversible sous l’effet d’un gradient de concentration ................ 106 5.3.1 - Expression de la création d’entropie .............................................................. 107 5.3.2 - Estimation de la force extérieure.................................................................... 109 5.3.3 - ation du gradient de concentration........................................................ 109 5.3.4 - Evaluation de la dissipation............................................................................ 110 5.3.5 - Discussion, validité du modèle....................................................................... 111 5.4 - Influence du gaz environnant.............................................................................. 112 5.4.1 - Développement d’un modèle théorique de la dissipation en régime ...
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
Chapitre 5 - Développement de modèles théoriques pour lévaluation des processus de dissipation
5.1 - 100Evaluation de la dissipation liée à la présence de contraintes résiduelles.......5.1.1 - Description du modèle ................................................................................... 100 5.1.2 - Discussion ...................................................................................................... 103
5.2 -Application à l’étude de l’influence de la sustentation ..................................... 103
5.3 -Transport irréversible sous l’effet d’un gradient de concentration ................ 1065.3.1 - Expression de la création d’entropie .............................................................. 107 5.3.2 - Estimation de la force extérieure.................................................................... 109 5.3.3 - Estimation du gradient de concentration ........................................................ 109 5.3.4 - Evaluation de la dissipation............................................................................ 110 5.3.5 - Discussion, validité du modèle....................................................................... 111
5.4 - 112Influence du gaz environnant..............................................................................5.4.1 Développement d’un modèle théorique de la dissipation en régime visqueux -........................................................................................................................ 112 5.4.2 - Confrontation du modèle avec les points expérimentaux .............................. 114
5.5 -
Conclusion sur les modèles développés .............................................................. 116
Comme nous lavons vu au Chapitre 4, de nombreux phénomènes de dissipation ont
été décrits de façon détaillée dans la littérature. Pour certains dentre eux, il est possible dévaluer
lamortissement quils génèrent, et de comprendre ainsi pourquoi certaines familles de matériaux
se révèlent être plus intéressantes que dautres pour la réalisation de résonateurs mécaniques à
haut facteur de qualité (Q > 106). Cependant, si certains mécanismes de dissipation (comme la
thermoélasticité) permettent effectivement, pour une famille de matériaux donnée, dévaluer un
ordre de grandeur pour la valeur maximale de Q, les données de la littérature ne permettent pas
toujours dexpliquer les écarts entre les valeurs de Q théoriques et celles mesurées
expérimentalement (voir Chapitre 3). Par exemple, nous avons vu que la thermoélasticité
permettait dévaluer la dissipation générée lors des vibrations de flexion. Pour certains matériaux
99
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
(comme le saphir) cette dissipation peut être prédominante devant les autres sources
damortissement, et donc imposer la valeur du facteur de qualité. Dans dautres matériaux
(comme la silice amorphe), le niveau de dissipation due à la thermoélasticité est très faible (Q−1=10-9 et ne permet pas dexpliquer les facteurs de qualité mesurés environ)
expérimentalement (Q-1=10-7 environ). Il est alors nécessaire didentifier et dévaluer lordre de
grandeur de la dissipation générée par ces phénomènes qui limitent les propriétés vibratoires.
Nous tenterons par conséquent de développer dans ce Chapitre des modèles
permettant dévaluer la dissipation générée par des processus qui nont, à notre connaissance, pas
été détaillés dans la littérature. Lobjectif de ces modèles théoriques est de répondre aux
interrogations soulevées lors de lanalyse des résultats expérimentaux présentés au Chapitre 3 :
pourquoi les facteurs de qualité de la silice sont-ils inférieurs aux valeurs prédites par la
thermoélasticité ? Pourquoi lamortissement dans les silices synthétiques est-il inférieur à celui
dans les silices naturelles ? Pourquoi létape de sustentation ne permet-elle pas daméliorer les
propriétés vibratoires ? Quelle est la véritable influence des impuretés à létat de trace dans le
verre ?
Enfin, nous présenterons un modèle permettant dévaluer lordre de grandeur de la
quantité dénergie dissipée par viscosité dans le gaz environnant un résonateur hémisphérique. Ce
modèle permet dexpliquer les variations du facteur de qualité observées lorsque la pression varie,
dans un domaine compris entre 10-3mbar et 1 bar.
5.1 -
5.1.1 -
Evaluation de la dissipation liée à la présence de
contraintes résiduelles
Description du modèle
On rappelle que le principe de la thermoélasticité est de relier le champ de
déformation (ou de contrainte) dun solide, au gradient de température pouvant exister en son
sein (voir Chapitre 4 et Annexe 7). Connaissant lexpression du gradient de température, on sait
évaluer la dissipation liée au transfert de chaleur par conduction, et donc, lexpression du facteur
de qualité.
Lidée du modèle que nous présentons ici est de superposer au champ de contrainte
σEengendré par la vibration, une distribution de contrainte supplémentaireσIliée aux procédés délaboration du verre et/ou dusinage-polissage des échantillons. Lapproche est volontairement
100
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
simpliste, lidée étant didentifier des mécanismes plutôt que de calculer de façon précise un
amortissement. Par ailleurs, le champ de contrainte nest pas une donnée « facile » à mesurer.
Intéressons-nous au cas des vibrations de flexion dune plaque. La déformation « vraie »εVde la plaque de module de Young Y peut alors sécrire :
σE+ σI( 5-1 ) ε =vY Par analogie avec la relation donnée par Landau [Landau-67] exprimant laugmentation de
température causée par la flexion, on aura pour le domaine des hautes fréquences (10 kHz) qui
nous intéresse :
∆T= (T−T0 α) =T(E I) ( 5-2 ) σ + σ C oùαet C sont respectivement le coefficient de dilatation thermique et la capacité calorifique par unité de volume.
Hypothèses : On suppose, dune part, que les variations deσIlordre de grandeur de la valeur typiquesont de σIcausées par la flexion sont négligeables devant les, et dautre part, que les contraintes
contraintes intrinsèques liées aux procédés délaboration :σE<σI.
On aura dans ce cas :
T ∆T≈αCσI
( 5-3 )
Lénergie dissipée par unité de temps et de volume, lors du transfert par conduction sécrit [Gié-
91] :
kr2 &e= ∇T − T
r où∇est lopérateur nabla et k la conductivité thermique [W.m-1.K-1].
( 5-4 )
101
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
A ce stade, une simplification consiste à réaliser dans la relation ( 5-4 ) une analyse des ordres de
grandeur. Si on appelle d la distance caractéristique de variation spatiale du phénomène considéré
(ici la variation de la contrainte de sa valeur typique à zéro), il est possible de remplacer dans le
terme nabla les opérateurs de différenciation par une division par d [Bejan-84]. On obtient alors
pour lénergie dissipée :
&kα2Tσ2 e= − I2 2 C
Par ailleurs, la densité moyenne de lénergie mécanique totale pour lunité de volume considérée peut sexprimer pare0ω≈ρ2u02où u0est lamplitude de vibration [Landau-67]. En rappelant que
& la dissipation Q-1 sous la forme sécrit1 Q−=ωEE0 avecE&=V∫&e dV et&E0=V∫&e0dV, et en
considérant que le rapport entre le volume où se produit la dissipation et le volume total sécrit
d/e, il vient :
2 Q−1≈Ck2α3uTσI2e dω ρ20
( 5-5 )
avec u0lamplitude de vibration [m] et e lépaisseur de la plaque [m]. On notera que la dissipation est proportionnelle au carré de la contrainte. Lapplication numérique aux vibrations de flexion
(u0~10-6m ;ω~2π.104rad.s-1) dune plaque en silice dépaisseur 1 mm donne :
−1−23σ2 Q≈9d10.I
( 5-6 )
où [σI]=Pa et [d]=m. Nous avons vu au Chapitre 3que les facteurs de qualité obtenus pour les échantillons en silice étaient de lordre de 106avant acidage. Dautre part, lépaisseur de la couche surfacique perturbée après lusinage et le polissage a été évaluée à 20 µm environ. En utilisant la relation ( 5-6 ), on
peut estimer lordre de grandeur de la contrainte générée lors des étapes dusinage-polissage à
1,5 MPa environ, ce qui nous semble être une estimation plausible. Le modèle nous paraît donc
satisfaisant pour expliquer la limitation en facteur de qualité des échantillons avant attaque
chimique.
102
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
Un autre intérêt de ce modèle est dexpliquer pourquoi les valeurs de Q obtenues sur
nos échantillons en silice ne dépassent pas 107en ordre de grandeur après acidage. On estime que
suite aux procédés délaboration du verre de silice, les contraintes thermiques résiduelles se
situent autour de 0,35 MPa pour une silice de qualité optique et 2,6 MPa pour un verre à vitre
[Zarzycki-82]. En supposant ces contraintes réparties sur lépaisseur de la plaque (en toute
rigueur, le profil de contrainte thermique est parabolique : voir Annexe 1), lordre de grandeur de
la valeur de Q obtenue par la relation ( 5-6 ) se situe vers 108pour le verre optique et 106pour le verre à vitre (lépaisseur est prise égale à 1 mm),ce qui est en relativement bon accord avec les
valeurs mesurées expérimentalement.
5.1.2 -
Discussion
Validité de lhypothèse :
Lordre de grandeur des contraintes résiduellesσIque nous venons dévaluer se situe autour du MPa. Déterminons à présent lordre de grandeur de la contrainte élastique générée dans la plaque
par sa vibration de flexion. Le profil de cette contrainte est linéaire sur lépaisseur e de la plaque
et sa valeur maximale peut être estimée par la relation [Landau-67]σ= Yu0e/(2L²) où L est la largeur de la plaque, Y le module de Young et u0lamplitude de vibration. En prenant L=1 cm, e=1 mm, Y=73 GPa et u0=10-6m, cette relation donne pourσ une valeur typique de 0,35 MPa pour les vibrations de la plaque en silice. Cette contrainte de flexion étant inférieure aux
contraintes résiduellesσIexpériences réalisées sont dans le domaine de validité du modèle.les En conclusion, tout en gardant à lesprit le caractère simpliste de notre modèle, il est
intéressant de noter quil permet dévaluer lordre de grandeur des contraintes générées en surface
lors des étapes dusinage-polissage, qui limitent les propriétés vibratoires. Dautre part, ce modèle
a lavantage de proposer une explication au fait que les valeurs de Q mesurées dans la silice (après attaque) natteignent pas les valeurs théoriques données par la thermoélasticité (de lordre de 109).
5.2 -
Application à létude de linfluence de la sustentation
Les résultats expérimentaux présentés au Chapitre 3 montrent que létape de
sustentation réalisée lors de lélaboration des échantillons na pas permis daméliorer les valeurs
de facteur de qualité de façon significative. Dans lhypothèse où ce sont les contraintes
intrinsèques qui limitent les propriétés vibratoires, cela signifie que létape de sustentation na pas
permis de modifier lintensité des contraintes thermiques par rapport aux barreaux de silice
103
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
approvisionnés. On estime quà la température de recuisson (environ 1100°C pour la silice
Spectrosil), le verre est libéré de ses contraintes internes en 15 minutes environ, tandis quà la
température de tension (990°C pour la Spectrosil) cette élimination nécessiterait environ 2 à
3 heures [Scholze-80]. Etant donnée la température de travail lors du processus de sustentation
(1920°C), on peut supposer que les contraintes initialement présentes dans les barreaux
approvisionnés sont complètement relaxées au cours du maintien en température. Sil reste des
contraintes internes après létape de sustentation, cest donc quelles sont générées lors du
refroidissement du verre. En effet, selon Zarzycki, les contraintes thermiques apparaissent
majoritairement lors du refroidissement pour des températures comprises entre les points de
recuisson et de tension [Zarzycki-82]. Sil est extrêmement difficile dobtenir de la part des
industriels verriers des détails concernant les procédés délaboration de leurs silices, on peut
toutefois estimer que lors dun recuit optique fin dans lindustrie, les vitesses de refroidissement
ne doivent pas excéder 0,7°/min entre les points de recuisson et de tension [Zarzycki-82]. Pour
un recuit optique courant, elles sont de lordre de 5°/min. Il convient de rappeler (voir
Chapitre 3) que lors de létape de sustentation, les vitesses de refroidissement sont denviron
100°/min entre les points de recuisson et de tension. On devrait donc sattendre à une
dégradation des propriétés vibratoires pour les échantillons sustentés. En fait, nous pensons que
cest moins la vitesse de refroidissement qui importe directement, que la présence dun gradient
de température induit par ce refroidissement. Ainsi, on introduira inévitablement des contraintes
thermiques si la distribution de température nest pas homogène à léchelle de léchantillon, et ce
même pour des refroidissements infiniment lents. Inversement, si la vitesse de refroidissement est
rapide mais quil y a un faible gradient de température dans lenvironnement de léchantillon, on
peut supposer que lintroduction de contraintes thermiques sera minimisée. On comprend ainsi
que les processus intervenant dans létablissement de ces contraintes thermiques sont
extrêmement délicats à estimer quantitativement. En outre, le développement dun modèle à
laide doutils de simulation numérique ne permettrait probablement pas de résoudre le problème
puisquil faudrait pour cela connaître précisément la distribution de température à léchelle de
léchantillon. Or, la mesure de température par pyrométrie est entachée dune erreur supérieure à
20°C. Il est toutefois possible destimer lordre de grandeur de ces gradients de température lors
du processus de sustentation. En utilisant les résultats de Barbé [Barbé-00], nous trouvons que,
pour le verre de silice à 1900°C, lécart de température à léchelle de la goutte doit être denviron
50°C. Partant de cela, on peut évaluer les contraintes thermiques qui prendront naissance lors du
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
σmax≈2αYR∇rT 3 1− ν
( 5-7 )
où le gradient de température est de lordre de 50 K.cm-1et le rayon R de la goutte est de 1 cm. Il
vient pour la silice (α=5,5.10-7K-1;ν=0,17; Y=73GPa) :σmax∼1,5MPa. Ce résultat, obtenu de façon tout à fait fortuite, est important car il laisse supposer que lors du refroidissement en
sustentation, on introduit des contraintes thermiques dont lordre de grandeur est comparable à
celui des contraintes initialement présentes dans les barreaux approvisionnés. Cela permettrait
dexpliquer pourquoi létape de sustentation, telle quelle a été réalisée dans cette étude, ne permet
pas daméliorer les facteurs de qualité vibratoire.
Perspectives pour lélaboration en sustentation : Puisque lintroduction de contraintes thermiques, intervenant inévitablement lors des procédés
délaboration des verres, semble jouer un rôle important dans lamortissement interne, il serait
intéressant de poursuivre ce travail en apportant une attention toute particulière aux conditions
de refroidissement. En ce sens, des modifications prévues pour le dispositif délaboration par
sustentation ont déjà été engagées. La géométrie envisagée pour le diffuseur devrait permettre de
limiter les effets liés au rayonnement (voirigFeur1-5), conduisant à minimiser les gradients de
température à léchelle de la goutte. En réduisant en parallèle la vitesse de refroidissement de
façon significative dans la zone critique de température (que lon pourrait estimer à 1200-900°C),
lintroduction de contraintes thermiques devrait être amoindrie. On a vu que notre modèle
permet de prédire pour la dissipation une loi de variation en Q-1∝σI2(voir relation ( 5-6 )), ce qui permettrait despérer une amélioration significative des facteurs de qualité.
105
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
Echantillon de verre
Diffuseur tungstène
Figure 5-1Modification de la géométrie du diffuseur pour l’élaboration de verres sustentés à faible teneur en contraintes thermiques (les dimensions indiquées sont en mm)
5.3 -
Transport irréversible sous leffet dun gradient de
concentration
Nous avons vu au Chapitre 3 que les silices naturelles présentaient de façon générale
des facteurs de qualité vibratoire moins élevés que ceux des verres synthétiques. En parallèle nous
avons mis en évidence des différences de teneurs en impuretés entre ces deux types de verres. Les
silices naturelles (type ST10) contiennent des impuretés (essentiellement des métaux) en quantité
importante : 20 ppm daluminium et des teneurs en métaux de transition et alcalins de lordre de
quelques ppm. Par contre, elles contiennent peu de OH. Les silices synthétiques présentent quant
à elle des teneurs en impuretés métalliques très faibles (de lordre du ppb daprès les fournisseurs),
mais peuvent présenter des teneurs en chlore variant de 1 à 200 ppm selon les procédés utilisés
pour lélaboration. Les concentrations en OH peuvent également atteindre des valeurs très
importantes (1000 ppm) selon les qualités. Si, comme nous lavons vu au Chapitre 4, les
groupements OH ne doivent pas entraîner de dissipation par diffusion ou diffusion sous
contrainte (ils sont fixés au réseau), le problème de lamortissement lié à la diffusion des
impuretés métalliques et chlorures ne peut être résolu à partir des seules données de la littérature.
En ce sens, il nous a paru nécessaire de proposer une estimation théorique pour lordre de
106
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
grandeur de la dissipation générée lors du transport dimpuretés dans les verres doxydes. Si cette
estimation concerne la diffusion de nimporte quelle espèce mobile, nous avons pris pour les
applications numériques lexemple dimpuretés de type Na+dans le verre de silice.
5.3.1 - Expression de la création dentropie
La théorie prévoit quà un gradient de concentration peut être associé un mécanisme
de transport par diffusion qui est dissipatif. En utilisant le formalisme de la thermodynamique des
phénomènes irréversibles [De Groot-59][Prigogine-68], il est possible dévaluer la création dentropie associée au transport dimpuretés. Dans ce cas, la création dentropie&s par unité de r temps et de volume peut se mettre sous la forme du produit du fluxjkassocié au transport de r limpureté k, par la force motriceXkpour le transport :
&s=rjk.rXk( 5-8 ) r Dautre part, le fluxjkpeut se mettre sous la forme dune somme de deux termes [Philibert-85] :
r r jk= −Dk∇Ck+rv Ck
( 5-9 )
-le premier terme correspond au transport diffusif, proportionnel au gradient de r concentration :jk= −Dk∇Ck de Fick) avec D (Loik le coefficient de diffusion de lespèce k dans le système considéré
-transport convectif sous leffet dune force extérieurele deuxième terme correspond au
imposant un mouvement densemble à la population dune espèce
Il convient de garder à lesprit que bien souvent, les coefficients de diffusion Dkdans les solides sont très faibles à température ambiante (ordres de grandeur : 10-20m².s-1 pour les
impuretés interstitielles C et N dans les métaux Fe-C et Fe-N [Weller-96], et 10-15-10-16m².s-1 pour la diffusion de sodium dans le verre de silice [Tian-01]). Par conséquent, il est raisonnable de
supposer que les gradients de concentration pouvant exister initialement dans léchantillon seront
relaxés sur une échelle de temps bien supérieure à celle de la caractérisation vibratoire. Dans ces
conditions, seule linfluence du flux convectif sera prise en compte dans notre évaluation de la
création dentropie. En dautres termes, sil y a dissipation, cest parce quun transport peut se
107
flux convectif sous la forme [Adda-90] :
r vr=FDkkT
où F est la force extérieure appliquée (par atome) et k la constante de Boltzmann (k=1,38 J.K-1).
r Enfin, la force motriceXkpour le transport prendra dans la relation ( 5-8 ) la forme [Gié-91] :
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
( 5-13 )
pour estimer quantitativement la dissipation énergétique.
108
( 5-12 )
∇Ck
Nous allons maintenant procéder à une analyse des ordres de grandeur des termes F et
produire sous leffet de lapplication dune force extérieure, qui peut être liée par exemple à des
contraintes de flexion ou à la présence dun champ électrique. Le terme associé au flux non
convectif dans la relation ( 5-9 ) sera donc nul, et nous exprimerons la vitesse densemble pour le
( 5-10 )
rxk Xk= −R∇ xk r r Dautre part, on peut montrer que∇xk∇=CCkavecxk=Ck xk k dimpureté k par m3etCle nombre de moles de SiO2par m3).
oùµkest le potentiel chimique de lespèce k. Soit, pour un système idéal oùµk= µ0k+RT ln xk(avec xkla fraction molaire dimpureté k) et en labsence de gradient de température :
r r Xk−=⎜µ∇⎝⎛k⎞⎟⎠T
Dkr & s≈N F∇TaCk où Naest le nombre dAvogadro (N =R/k=6,022.1023atomes/mol). a
On aura donc pour la création maximale dentropie :
C(Ckétant le nombre de moles
( 5-11 )
Chapitre 5 Développement de modèles théoriques pour l’évaluation des processus de dissipation
5.3.2 Estimation de la force extérieure -
Il est possible dévaluer la force extérieure intervenant dans le processus de diffusion
sous contrainte. On a vu précédemment quune valeur typique de la contrainte dans une plaque
en flexion était donnée par [Landau-67] :
σ =L2Yu20e
( 5-14 )
Dans le cas des vibrations de flexion damplitude u0 dune plaque en silice dépaisseur=1 µm e=1 mm et de largeur L=1 cm, les contraintes maximales générées dans la plaque sont de
0,35 MPa environ. On peut ainsi estimer lordre de grandeur de la force F exercée sur un cation de rayon r=1Å,typique de celui dune impureté Na+[Bernard-90] :
F=4πr2σ F 10−14N ≈
5.3.3 - Estimation du gradient de concentration
( 5-15 )
Dans le cas où le transport dimpureté par diffusion peut être négligé devant le flux
convectif, on pourra écrire léquation de conservation sous la forme :
∂Ck=r∇. vvC∂tk
( 5-16 )
Insistons sur le fait que, contrairement au cas de la thermoélasticité où la flexion introduisait
directement une source de chaleur, le processus est ici indirect : la flexion conduit à favoriser les
sauts de limpureté dans une direction privilégiée, mais le transport est limité par la cinétique de
diffusion.
A ce niveau, une analyse volontairement simpliste des ordres de grandeur consiste à considérer
que :
1) la vitesse densemble est constante sur lépaisseur e de la plaque