Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
334 pages
Français

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Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces , livre ebook

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Description

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de micromiroirs. La photolithographie, ainsi que les méthodes de dépôt, de gravure, et de caractérisation de couches minces sont décrites dans ce volume. Des exemples de procédés et de réalisations permettront aux étudiants et aux ingénieurs de se familiariser avec les possibilités, mais aussi d'appréhender les limites de ces technologies.
Introduction : le panorama des techniques de microfabrication -M. De Labachelerie. Les techniques de photolithographie -N. Fabre, V. Conédéra. Les dépôts en couches minces -W. Daniau, L. Robert. Dépôts en phase liquide : application aux microtechniques -S. Basrour. Dépôts de polymères -P. Jolinat. La gravure humide des couches minces -J.-P. Gilles, J.-P. Grandchamp. La gravure sèche des couches minces -J.-P. Grandchamp, J.-P. Gilles. Procédés d'usinage de surface sur silicium -L. Buchaillot, D. Collard, V. Agache, O. Millet. Méthodes et techniques de caractérisation mécanique des couches minces et des dispositifs microélectromécaniques -A. Bosseboeuf, M. Dupeux. Index.

Sujets

Informations

Publié par
Date de parution 01 mai 2004
Nombre de lectures 113
EAN13 9782746227071
Langue Français
Poids de l'ouvrage 8 Mo

Informations légales : prix de location à la page 0,0788€. Cette information est donnée uniquement à titre indicatif conformément à la législation en vigueur.

Extrait

Techniques de fabrication des microsystèmes 1
©LAVOISIER, 2004 LAVOISIER 11, rue Lavoisier 75008 Paris
Serveur web : www.hermes-science.com
ISBN 2-7462-0817-2
Le Code de la propriété intellectuelle n'autorisant, aux termes de l'article L. 122-5, d'une part, que les "copies ou reproductions strictement réservées à l'usage privé du copiste et non destinées à une utilisation collective" et, d'autre part, que les analyses et les courtes citations dans un but d'exemple et d'illustration, "toute représentation ou reproduction intégrale, ou partielle, faite sans le consentement de l'auteur ou de ses ayants droit ou ayants cause, est illicite" (article L. 122-4). Cette représentation ou reproduction, par quelque procédé que ce soit, constituerait donc une contrefaçon sanctionnée par les articles L. 335-2 et suivants du Code de la propriété intellectuelle.
Tous les noms de sociétés ou de produits cités dans cet ouvrage sont utilisés à des fins d’identification et sont des marques de leurs détenteurs respectifs.
Techniques de fabrication des microsystèmes 1
structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
sous la direction de Michel de Labachelerie
Il a été tiré de cet ouvrage
30 exemplaires hors commerce réservés
aux membres du comité scientifique,
aux auteurs et à l’éditeur
numérotés de 1 à 30
Techniques de fabrication des microsystèmes 1
sous la direction de Michel de Labachelerie
fait partie de la série M
ICROSYSTÈMES
dirigée par Jean-Pierre Goure et Jean-Claude Sabonnadière
TRAITÉEGEM ELECTRONIQUE– GÉNIEELECTRIQUE– MICROSYSTÈMES
Le traité Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes répond au besoin de disposer d’un ensemble de connaissances, méthodes et outils nécessaires à la maîtrise de la conception, de la fabrication et de l’utilisation des composants, circuits et systèmes utilisant l’électricité, l’optique et l’électronique comme support.
Conçu et organisé dans un souci de relier étroitement les fondements physiques et les méthodes théoriques au caractère industriel des disciplines traitées, ce traité constitue un état de l’art structuré autour des quatre grands domaines suivants :
Electronique et micro-électronique
Optoélectronique
Génie électrique
Microsystèmes
Chaque ouvrage développe aussi bien les aspects fondamentaux qu’expérimentaux du domaine qu’il étudie. Une classification des différents articles contenus dans chacun, une bibliographie et un index détaillé orientent le lecteur vers ses points d’intérêt immédiats : celui-ci dispose ainsi d’un guide pour ses réflexions ou pour ses choix.
Les savoirs, théories et méthodes rassemblés dans chaque ouvrage ont été choisis pour leur pertinence dans l’avancée des connaissances ou pour la qualité des résultats obtenus.
Liste des auteurs
Vincent AGACHE IEMN Lille
Skandar BASROUR Laboratoire TIMA Université Joseph Fourier Grenoble
Alain BOSSEBOEUF IEF Université Paris Sud Orsay
Lionel BUCHAILLOT IEMN Lille
Dominique COLLARD IEMN Lille
Véronique CONÉDÉRA LAAS Toulouse
William DANIAU LPMO Besançon
Michel de LABACHELERIE LPMO Besançon
Michel DUPEUX LTPCM Université Joseph Fourier Grenoble
Norbert FABRE LAAS Toulouse
Jean-Paul GILLES IEF Université Paris Sud Orsay
Jean-Paul GRANDCHAMP IEF Université Paris Sud Orsay
Pascale JOLINAT Laboratoire de Génie Electrique Université Paul Sabatier Toulouse
Olivier MILLET IEMN Lille
Laurent ROBERT LPMO Besançon
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