FABRICATION ANDCHARACTERIZATION OFMACROPOROUS SILICONDissertationzum Erlangen des akademischen GradesDoctor rerum naturalium(Dr. rer. nat.)vorgelegt derNaturwissenschaftlichen Fakultät IIder Martin-Luther-Universität Halle-WittenbergvonHerrn Dipl. Phys. Andreas Langnergeb.: 04.12.1978 in BerlinGutachter:1. Prof. Dr. U. Gösele2. Prof. Dr. H. Föll3. Prof. Dr. H. GraenerHalle (Saale), 31. März 2008Verteidigt am 01. Juli 2008urn:nbn:de:gbv:3-000014114[http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn=nbn%3Ade%3Agbv%3A3-000014114]Between nature and me there is a giant battle going onbecause I have to improve nature.Zwischen der Natur und mir ist eine große Schlacht im Gange,denn ich muss die Natur verbessern.Salvador Dal´ıA three-dimensional photonic crystal structure as Salvador Dal´ı might have seen it.Don’t fool yourself with wanting to improve mistakes in nature.There is no mistake in nature, the mistake is in yourself.Mach Dir nicht vor, Du wolltest Irrtümer in der Natur verbessern.In der Natur ist kein Irrtum, sondern der Irrtum ist in dir.Leonardo da VinciContentsNomenclature 1Preface 31 Macroporous Silicon 51.1 Porous Silicon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2 Electrochemical Macropore Formation in n-Type Silicon . . . . . . . . . . . . . 61.3 Post Treatment of Macroporous Silicon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151.3.1 Oxidation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .