Nanofocusing refractive X-ray lenses [Elektronische Ressource] / von Pit Boye

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• Publié le: 01 janvier 2009
• Nombre de lectures: 33
• Langue: English
• Poids de l'ouvrage: 28 Mo

Extrait

Nanofocusing Refractive X-Ray
Lenses
Dissertation
zur Erlangung des akademischen Grades
Doctor rerum naturalium
(Dr. rer. nat.)
vorgelegt der
Fakultat Mathematik und Naturwissenschaften der
Technischen Universitat Dresden
von
Diplom-Physiker Pit Boye
geboren am 22.02.1980
in Witten
Eingereicht am 5. November 2009
Die Dissertation wurde in der Zeit von 05/2006 bis 11/2009
im Institut fur Strukturphysik angefertigt.Gutachter: Prof. Dr. C. G. Schroer
Prof. Dr. T. Salditt
Datum des Rigorosum: 5. Februar 2010
Prufer: Prof. Dr. C. G. Schroer
Prof. Dr. K. Leo
Datum der Disputation: 5. Februar 2010
Promotionskommission: Prof. Dr. W. Strunz (Vorsitz)
Prof. Dr. C. G. Schroer
Prof. Dr. T. Salditt
Prof. Dr. K. Leo
Prof. Dr. H.-H Klaus
PD Dr. Sr. Grafstr om (Protokoll)Abstract
This thesis is concerned with the optimization and development of the production of
nanofocusing refractive x-ray lenses. These optics made of either silicon or diamond are
well-suited for high resolution x-ray microscopy. The goal of this work is the design of a
reproducible manufacturing process which allows the production of silicon lenses with high
precision, high quality and high piece number. Furthermore a process for the production
of diamond lenses is to be developed and established.
In this work, the theoretical basics of x-rays and their interaction with matter are
described. Especially, aspects of synchrotron radiation are emphasized. Important in x-ray
microscopy are the di erent optics. The details, advantages and disadvantages, in
particular those of refractive lenses are given. To achieve small x-ray beams well beyond the
100nm range a small focal length is required. This is achieved in refractive lenses by moving
to a compact lens design where several single lenses are stacked behind each other. The,
so-called nanofocusing refractive lenses (NFLs) have a parabolic cylindrical shape with
lateral structure sizes in the micrometer range. NFLs are produced by using micro-machining
techniques. These micro-fabrication processes and technologies are introduced. The results
of the optimization and the nal fabrication process for silicon lenses are presented.
Subsequently, two experiments that are exemplary for the use of NFLs, are introduced.
The rst one employs a high-resolution scanning uorescence mapping of a geological
sample, and the second one is a coherent x-ray di raction imaging (CXDI) experiment.
CXDI is able to reconstruct the illuminated object from recorded coherent di raction
patterns. In a scanning mode, referred to as ptychography, this method is even able to
reconstruct the illumination and the object simultaneously. Especially the reconstructed
illumination and the possibility of computed propagation of the wave eld along the focused
beam yields ndings about the optic used. The collected data give interesting information
about the lenses and their aberrations. Comparison of simulated and measured data shows
good agreement.
Following this, the fabrication process of diamond lenses is described. Diamond with its
extraordinary properties is well-suited as lens material for refractive lenses.
Finally, a concluding overview of the present and future work of nanofocusing lenses is
given.Kurzfassung
Diese Dissertation beschaftigt sich mit der Entwicklung und Optimierung der
Herstellungsprozesse von refraktiven nanofokussierenden Rontgenlinsen. Diese aus Silizium oder
Diamant hergestellten Optiken, sind hervorragend fur hochau osende Rontgenmikroskopie
geeignet. Ziel dieser Arbeit ist es, einen reproduzierbaren Herstellungsprozess zu
erarbeiten, der es erlaubt, Siliziumlinsen von hoher Prazision, Qualitat und Quantitat zu fertigen.
Zusatzlich soll ein Prozess fur Diamantlinsen entwickelt und etabliert werden.
In der folgenden Arbeit werden die theoretischen Grundlagen von Rontgenstrahlung und
deren Wechselwirkung mit Materie beschrieben. Spezielle Aspekte der
Synchrotronstrahlung werden hervorgehoben. Wichtig im Zusammenhang mit Ron tgenmikroskopie sind die
verschieden Optiken. Deren Details, Vor- und Nachteile, insbesondere die der brechenden
Linsen, werden genannt. Zur Erzeugung fein gebundelter Rontgenmikrostrahlen im
Bereich unter 100nm lateraler Gro e ben otigt man sehr kurze Brennweiten. Mit brechenden
Linsen lasst sich dieses mittels eines kompakten Linsendesigns von vielen hintereinander ge-
stapelten Einzellinsen realisieren. Die so genannten refraktiven nanofokussierenden Linsen
(NFLs) besitzen eine parabolische Zylinderform mit lateralen Strukturgro en im Mikrome-
terbereich. NFLs werden mittels spezieller Technologien der Mikroprozessierung hergestellt.
Diese Mikrostrukturierungsverfahren werden mit ihren jeweiligen Prozessschritten und
zugehorenden Technologien vorgestellt. Die Ergebnisse der Optimierung und der endgultige
Mikrostrukturierungsprozess fur Siliziumlinsen werden dargelegt.
Im Anschluss daran werden zwei Experimente erlautert, die beispielhaft fur die
Anwendung von NFLs stehen. Ersteres ist ein ortsaufgelostes Fluoreszenzrasterexperiment einer
geologischen Probe und das zweite ein koharentes Rontgen-Beugungsexperiment (CXDI).
CXDI ist in der Lage, aus koharent aufgenommen Beugungsbildern das beleuchtete Ob-
jekt zu rekonstruieren. Kombiniert mit einem rasternden Verfahren, welches Ptychographie
genannt wird, ist diese Methode in der Lage, die Beleuchtungsfunktion und das Objekt
gleichzeitig zu rekonstruieren. Besonderes die rekonstruierte Beleuchtungsfunktion und die
Moglichkeit der computergestutzten Propagation des Wellenfeldes entlang des fokussierten
Strahls, geben aufschlussreiche Informationen uber die verwendete Optik. Neue Erkennt-
nisse ub er die Linsen und deren Aberrationen konnen so gewonnen werden. Vergleiche von
simulierten mit gemessenen Daten zeigen gute Ubereinstimmung.
Daran anschlie end erfolgt die Beschreibung der Entwicklung eines Fabrikationsprozess
fur Diamantlinsen. Diamant mit seinen au ergew ohnlichen Materialeigenschaften ist be-
sonders gut als Linsenmaterial fur refraktive Rontgenlinsen geeignet.
Abschliessend wird ein zusammenfassender Uberblick ub er die derzeitigen und die zu
erwartenden Entwicklungen bei refraktiven Linsen gegeben.Contents
1 Introduction 7
2 X-Ray Sources 11
2.1 X-Rays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.2 Layout of an X-Ray Tube . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3 Synchrotron Radiation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.3.1 Third Generation Synchrotron Radiation Source . . . . . . . . . . . 15
2.3.2 Radiation Power Emitted by Charged Particles . . . . . . . . . . . 16
2.3.3 Insertion Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3 Interaction of X-Rays with Matter 27
3.1 The Complex Index of Refraction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3.2 Attenuation of X-Rays in Matter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.2.1 Photo Absorption . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.2.2 Scattering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.2.3 Pair Production . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
4 X-Ray Optics 33
4.1 Refractive X-Ray Lenses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.1.1 Historical Note . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.1.2 Choice of Lens Material . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.1.3 Imaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
4.1.4 Comparison of Visible Light with X-Rays . . . . . . . . . . . . . . . 38
4.1.5 Focal Length of a Thin Parabolic Lens . . . . . . . . . . . . . . . . 39
4.1.6 Parabolic Refractive X-Ray Lenses . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
4.1.7 Thick Lens . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
4.1.8 Transmission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
4.1.9 Aperture . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
4.1.10 Spot Size & Depth of Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
4.1.11 Nanofocusing Lenses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
4.2 Other Optics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
4.2.1 Curved Mirrors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
4.2.2 Fresnel Zone Plates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
56 CONTENTS
4.2.3 Capillaries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
4.2.4 Waveguides . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
5 Methods of Microfabrication 53
5.1 Electron Beam Evaporation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
5.2 Lithography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
5.2.1 Optical Lithography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
5.2.2 Electron Beam Lithography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
5.3 Methods of Etching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
5.3.1 Wet Etching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
5.3.2 Dry Etching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
5.3.3 Deep-Trench Etching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .